样品自动化控制-多片晶圆/批量运行

纳米光刻不但可以在(多个)小的样片进行加工,也可以在标准晶圆上加工。一些工业套刻直写应用需要批量操作多个晶圆,在无人看护的情况下,依次曝光。Raith的产品系列满足了各种不同程度的自动化的需求。对于开环光刻模式下的掩膜版加工,在保证完全自动的情况下,同时能保持很高的系统稳定性。

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