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100kV技术,无拼接误差曝光及更多技术

在纳米加工领域,Raith可提供广泛的技术和产品,包括电子束曝光技术和聚焦离子束加工技术;从低能量到高能量电子技术(从20eV到100keV),可满足多样化的科研需求和工业级系统自动化的需求;除了传统的镓液态离子源,还有通过质量选择离子光学系统可以产生金、硅、锗等的液态离子源;无拼接误差的曝光技术;新兴的工艺技术,如电子束/离子束诱导沉积和刻蚀,以及高精度逆向工程技术。

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