纳米光刻升级配件

Raith提供 ELPHY ^TM 产品系列，使得现有的扫描电镜，聚焦离子束显微镜，氦离子显微镜和电子束离子束双束系统实现纳米光刻能力。

产品

挖掘SEM, FIB-SEM, HIM等系统的纳米加工潜力

ELPHY MultiBeam图形发生器将扩展您现有的SEM, FIB-SEM, HIM的功能，使其具备先进纳米光刻的能力。它包含所有全面多功能纳米图形化功能，并且可实现高分辨的定位精度和分辨率。

改造提升SEM或FIB-SEM

ELPHY Plus可将您现有的SEM或FIB-SEM系统升级，使其具备电子束光刻的能力。凭借其独立的电子控制单元和Raith无与伦比的操作软件，该图形发生器将是您理想的选择。

现在开始纳米加工

ELPHY Quantum电子束光刻附件是一款经济实惠的电子束光刻解决方案。所有功能都集成在同一个操作界面，使其成为通用的灵活的电子束光刻升级附件。