纳米光刻升级配件

Raith提供 ELPHY TM 产品系列,使得现有的扫描电镜,聚焦离子束显微镜,氦离子显微镜和电子束离子束双束系统实现纳米光刻能力。

产品
挖掘SEM, FIB-SEM, HIM等系统的纳米加工潜力

ELPHY MultiBeam图形发生器将扩展您现有的SEM, FIB-SEM, HIM的功能,使其具备先进纳米光刻的能力。它包含所有全面多功能纳米图形化功能,并且可实现高分辨的定位精度和分辨率。

了解更多关于如何利用ELPHY MultiBeam改造您的SEM, FIB-SEM, HIM系统
改造提升SEM或FIB-SEM

ELPHY Plus可将您现有的SEM或FIB-SEM系统升级,使其具备电子束光刻的能力。凭借其独立的电子控制单元和Raith无与伦比的操作软件,该图形发生器将是您理想的选择。

了解更多ELPHY Plus
现在开始纳米加工

ELPHY Quantum电子束光刻附件是一款经济实惠的电子束光刻解决方案。所有功能都集成在同一个操作界面,使其成为通用的灵活的电子束光刻升级附件。

了解更多ELPHY Quantum

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