专业电子束曝光系统
高性能电子束曝光系统 VOYAGER 图片
快速、智能、创新、经济!
高性能电子束曝光系统
电子束曝光系统VOYAGER的进料室
电子束曝光系统VOYAGER具有创新的结构体系,可实现隔墙进样的设计方式,有效减小成本

新一代电子束曝光系统

高速且价格合理的电子束光刻机实现精确的曝光效果

 

对于工业界和学术界所有关注速度和高分辨的电子束曝光应用,我们推荐您选择VOYAGERTM这款专业电子束曝光系统。

Raith非常重视这款具有吸引力的在使用寿命期间具有高性价比、新开发的、创新的eWRITE体系结构。

系统的硬件和软件被一致设计为自动曝光操作,先进的高性能图形发生器和电子光学系统优化设计并协同一致。

系统可实现8英寸样品的高速曝光。系统的稳定性是非常关键的指标,可保证大面积均匀曝光。该系统外部采用环境屏蔽罩,即使在稍差的实验室环境下,仍然能确保系统具有非常好的热稳定性,提高系统对外界环境的容忍度。

超高分辨率曝光系统

  1. 从最初设计到样品制备完成,实现高速样品加工,提高产量
  2. 智能设计:设备占地面积小,且集成环境屏蔽罩
  3. 创新的、未来安全型系统架构
  4. 专业的电子束曝光系统,可实现每小时1cm2的高速曝光,高性价比

eWrite技术

Raith新推出的eWrite技术结合了专业电子束光刻的光学系统和创新的图形发生器设计,该技术适用于研发及批量生产的所有工作。

 

VOYAGER 产品详情

主要应用:

  • 高速直写
  • 衍射光学元件
  • 防伪元件
  • 批量加工化合物半导体器件

样品台:

  • 6“ 移动范围
  • Z方向移动范围大
 
电子枪技术:
  • eWrite
  • 电子
  • 50 kV

 


独特直写模式:
  • traxx 长线条无写场拼接曝光模式
  • periodixx周期结构无写场拼接曝光模式

 

 

VOYAGER 资料下载

  1. VOYAGER 产品手册(PDF)
  2. Raith产品手册

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