多功能电子束曝光机
电子束曝光和电子成像完美结合的PIONEER Two图片
电子束曝光和成像的完美结合
超高分辨电子束曝光成像系统
集成了旋转倾斜功能的激光干涉控制样品台，用于专业的电子束曝光及成像功能。
PIONEER Two集成了旋转倾斜功能的激光干涉控制样品台，用于专业的电子束曝光及成像功能。

电子束曝光与高分辨成像的完美结合

紧凑型高性价比的多功能电子束曝光系统

PIONEERTM 集成了电子束曝光及成像分析双功能，是高校和科研人员的理想选择。从理念上，PIONEER Two是一个全新的独特的设备，真正意义上实现了电子束曝光和成像的完美结合。

PIONEER Two将专业电子束曝光设备和电子成像系统所有的先进性能，融合成一套独立的成套系统。多功能性、稳定性、用户友好性操作，使PIONEER Two系统适合于不仅追求纳米结构的制作及再观察功能，且需要材料及生命科学领域中对化学成分及结构进行分析的所有用户。

电子束曝光及成像

  1. 集成先进的热场发射电子光学柱(TFE, Gemini电子光学柱) 技术，实现专业电子束曝光系统领域中的小束斑尺寸(1.6 nm)
  2. 专业的电子束曝光系统中集成样品架旋转倾斜模块的激光干涉控制样品台，保留了电子成像设备的所有功能，实现高精度的定位
  3. 模块化设计和高性价比，可满足所有科研预算：可根据应用的具体需求添加选件，以提高曝光速度、自动化程度，及成像分析功能
  4. 实现真正意义的多用户管理功能：用户登陆到自己的界面进行图形编辑、工艺流程控制、参数文件管理等操作，就像使用自己的电脑一样简单方便
  5. 各种可选择的探测器(ET-SE, inlens SE, inlens EsB, AsB, EDX ...) ，以实现电子束曝光中的对准标记识别、成像及分析等多种功能
  6. 小巧紧凑的系统架构

远优于SEM加图形发生器的改造系统

PIONEER Two是从扫描电镜加图形发生器的改造系统到专业的电子束曝光系统之间的过度设备，相比于先进的带有第三方图形发生器及压电工作台的扫描电镜，PIONEER Two是一款高性价比的成套的电子束曝光系统，其设备的集成、技术服务支持等都由一家值得信任的供应商提供。

集成专业EBL系统必备的高精度激光干涉控制样品台技术， PIONEER Two 可实现EBL系统所保证的曝光参数，远优于SEM加图形发生器的改造电子束曝光设备。

 

PIONEER Two 电子束曝光应用

  • SEM image showing an array of bow-tie nanostructures with 25 nm gap.png
    25nm间距的纳米领结结构阵列 Amit Zeidler, Technion, Haifa, Israel
  • SEM image analysis (metrology) showing sub-8 nm lines in HSQ.jpg
    20keV下在HSQ胶上曝光亚8nm线条
  • Picture of freestanding multi-terminal graphene device made with EBL.jpg
    独立的多终端石墨烯器件 M. Kühne, MPI Stuttgart, Germany
  • SEM microscopy image of a tunable single-electron transistor.jpg
    可调InAs/InP单电子晶体管 S. Roddaro, NEST, Istituto Nanoscienze-CNR and Scuola Normale Superiore, Pisa, Italy
  • Application picture of a single-electron memory device.jpg
    自校准浮动栅和三角形通道的室温单电子存储器件 T. Xiaohui, Uni Louvain la Neuve, Belgium
  • SEM image of optical ADC.jpg
    光学数模转换器T.Dillon, University of Delaware, USA
  • SEM image of a micro gear pump.jpg
    微米齿轮泵
  • SEM image analysis of efficient CMOS compliable light source.jpg
  • SEM picture showing chiral metamaterial consisting of pairs of gold split-ring resonators.jpg
    多对金开口环共振器的手性超材料结构
  • SEM microscopy of a grating coupler for silicon photonics.jpg

PIONEER Two SEM 应用

  • SEM image of a compound imaged with standard Everhart-Thornley secondary electron detector.png
    采用标配ET二次电子探测器在1.5kV下对Bi2-Ca2-Co化合物进行成像
  • SEM image of compound imaged with inlens secondary electron detector.png
    采用inlens二次电子探测器在1.5kV下对Bi2-Ca2-Co化合物进行成像，得到材料的高对比度成像及表面特征
  • SEM image of a compound imaged with inlens backscattered electron detector with secondary electron suppression.png
    采用inlens背散射电子探测器在1.5kV下对Bi2-Ca2-Co化合物进行成像，实现非凡的材料对比度成像，不同对比度代表不同的金属元素
  • SEM microscopy image of a (tilted) ultra-high-resolution SEM sample.png
    样品台倾斜时进行高分辨成像

PIONEER Two 产品详情

主要应用:
  • 纳米级光刻
  • 高分辨成像
  • 材料和结构分析
电子枪技术:
  • Gemini
  • 电子
  • 30 kV
  • Inlense二次电子探测器
  • 能量选择背散射探测器（选配）
样品台:
  • 2“ 移动范围
  • Z轴移动范围大
  • 样品台旋转倾斜功能（选配）

 

PIONEER Two 资料下载

  1. PIONEER Two 产品手册(PDF)
  2. Raith产品手册

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