Improve for the future
and explore new techniques

离子选择技术

超越镓离子源的高分辨FIB纳米加工

Raith的FIB专利技术是真正的先进聚焦离子束纳米加工技术。NanoFIB Three 可提供稳定的纳米尺寸的金、硅、或其他离子源,这种独特的离子选择升级得益于多离子源技术和低相差的离子选择光学系统。液态合金离子源(LMAIS)取代了镓液态离子源,针对共熔合金材料采用独特的流量优化离子枪设计,保证离子束的长时间稳定性,并提高离子源的寿命。离子枪带有自动启动及发射控制功能,可实现传统FIB功能,并具有创新的纳米加工能力。液态离子源可同期发射不同离子,这使得单粒子源和多离子源之间的快速转换具有可能,同时保留了NanoFIB Three离子光学柱的高分辨优势。

提供多种离子束

离子选择技术可提供优异的多种束源,从双电荷轻质离子、重离子到团簇。不同离子束与样品的相互作用不同,因此加工的纳米结构结果也差别迥异。因此Raith研发了这种独特的多离子选择技术,可实现低污染的纳米加工、高分辨率加工、或提高表面敏感度等功能。采用硅离子束加工样片可实现低污染且更高分辨的薄层图形加工;采用金离子束或团簇也可实现其独特的功能。该技术可更好的应对纳米加工和成像方面的挑战,为下一代研发中新的突破提供有效的加工手段。

 

注册用户登录: