图形发生器--纳米光刻和纳米加工升级附件
通用型纳米光刻附件 ELPHY Quantum 图片
提升您的 SEM
用于所有聚焦离子束-电子束系统的纳米光刻和纳米加工升级附件
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纳米光刻笔 – ELPHY Quantum可将您的扫描电子显微镜(SEM)或聚焦离子束系统(FIB-SEM)扩展为纳米加工系统
纳米光刻笔 – ELPHY可将您的扫描电子显微镜(SEM)或聚焦离子束系统(FIB-SEM)扩展为纳米加工系统

SEM光刻变得容易

采用实地验证过的技术,建立了简单易获取的支持和培训体系。

ELPHY Quantum曝光过程中整个工作流程都集成在Raith NanoSuite同一个用户界面中,如CAD版图布局和处理、曝光参数控制、自动化、远程控制扫描电子显微镜等。专用的硬件预先安装在专用的工业控制器中,并于出厂前完成了性能测试。

通往专业纳米电子束光刻最简单最经济之路,以有效地开展所有的工作

  1. 提供完整的现场设备安装和培训
  2. 建立了免费的全球技术支持体系,可提供最广泛的纳米加工和纳米光刻应用支持
  3. 设备简单易操作,完美集成了Raith NanoSuite软件
  4. 设备可实现灵活升级,或者通过以旧换新的方式升级为Raith产品线中的其他产品
  5. 通过用户认证和设备相关参数的管理,实现真正的多用户管理。用户可以轻易找回自己上次退出前的系统设置
  6. 快速6MHz双DAC寻址用于XY电子束偏转(16bit)
  7. 高精度的6个附加的16bit乘法DAC ,用于高精度的套刻对准、多层光刻,以及具备亚纳米步距控制的写场校准
  8. 专业的NanoPECS邻近效应修正软件和高级的三维曝光软件,以及校准标样、测试样片、电子束曝光工具箱,和其他可选附件

为将来做好准备

ELPHY纳米光刻和纳米加工升级附件是将SEM, FIB-SEN, HIM系统升级为电子束/离子束光刻的完美的、最灵活的、高性价比的解决方案。已完成约1000套ELHPY设备安装,它是市场销量最大的SEM/FIB光刻升级附件。Raith Nanosuite软件不仅内置于ELPHY附件中,同时也安装在Raith整套电子束曝光系统中,软件维护和升级非常简单。

您可以申请在线软件演示,发现特别之处。

 

ELPHY Quantum 产品详情

主要应用:
  • SEM光刻

 

附件:
  • 可以安装在任意SEM中

 

工作台:
  • 由SEM设备性能决定

 

ELPHY Quantum 资料下载

  1. ELPHY 产品手册(PDF)
  2. Raith产品手册

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