参考和用户反馈

约克大学(York University): Thomas Krauss教授

“全球第一套VOYAGER系统已经完成验收,这台机器真是无与伦比!”

“我决定购买该设备的原因是Raith创造了一个全新的系统,而不是在已有的理念上进行优化,这使得这套设备具有全部近几年发展起来的先进技术,例如在高速电子控制部分中,采用26bit(Raith注释:数字分辨率)50 MHz 的图形发生器,不仅可用于寻址,还可以实时控制束斑尺寸。

该设备与市面上其他价格昂贵的设备性能相当,但其服务成本要低很多,这就是该设备适合在高校中使用的的关键之处。

卓越的技术支持服务

您可以依赖Raith承诺的服务,不论在工厂还是在我们实验室,他们都遵守双方约定的时间安排,设备性能远优于技术验收指标。设备安装使用的记录时间为:周一上午卡车送货到达学校,周五我们就得到了成像,第二周就可以开始曝光工作了。

设备很快完成了性能指标验收,亚10nm线宽图形直写、500um写场下实现20nm 的拼接精度。曝光得到的光子晶体图形非常完美。

产品的技术支持服务非常卓越,服务团队十分优秀。我们期待制作出完美的光子晶体和纳米光学结构,并继续与Raith保持合作。”

 

Thomas Krauss教授, 约克大学(York University), 2013年5月

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