VOYAGER电子束曝光机发布

Raith公司在加拿大约克大学(York Universiry)安装了配备有Raith全新eWrite技术的VOYAGER电子束曝光机。其创新的设计结构和优异的性能,保证了VOYGER可实现高精度的、快速的、经济实惠的电子束曝光。

Raith和Vistec公司合并

Raith公司非常重要的里程碑事件就是Vistec高斯束电子束曝光部门于2013年初加入Raith团队。和Raith一样,Vistec公司具备几十年的电子束曝光经验,代表着电子束曝光技术的顶级水平。Vistec的产品扩展了Raith公司在全球超高性能电子束曝光领域的产品系列。这就意味着Raith公司现在可以提供全系列的电子束曝光附件和整机系统,用于纳米光刻、纳米加工以及纳米工程等。

新型eLINE Plus电子束曝光机介绍

Raith推出了新型的eLINE Plus系统,随着原有的极受欢迎的eLINE系统的持续不断发展,新型的eLINE Plus系统具备了更多工艺技术,更多功能,以及优化的性能参数。它是唯一一款将经典电子束曝光技术和多功能应用完美结合的专业级电子束曝光机。

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