作为微纳加工设备供应商,Raith可提供丰富的产品系列和完善的售后服务,其产品覆盖了工业生产型专业电子束曝光机,以及多功能灵活的科研型电子束曝光系统。
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  • 适合您的微纳米加工系统:多功能电子束曝光系统(电子束光刻机),聚集离子束光刻系统,图形发生器等

选择适合您需要的纳米光刻系统,我们提供各种纳米加工手段

产品包括:电子束和离子束光刻、纳米工程、逆向工程、SEM/FIB-SEM/HIM系统升级等

Raith齐全的产品系列,保证了所有用户都可以在其中找到适合的解决方案。不论您是在寻找一种工业或科研应用的纳米光刻设备、希望选择一种聚焦离子束加工设备、或者希望在现有的SEM/FIB-SEM系统中升级纳米加工功能,您都可以在Raith的产品系列中找到完美的解决方案。而且我们还可以提供具备纳米多功能加工附件和SEM成像功能的系统,用于大面积成像。了解哪种Raith的纳米加工、成像和光刻系统能使您在应用中得到满意的结果。与我们携手,在纳米加工中保持一种长期的合作关系。

专业电子束曝光机 多功能电子束曝光系统 聚集离子束光刻系统 纳米加工升级附件(图形发生器) 专业级逆向工程设备 专业电子束曝光机
优先技术

EBPG5200高分辨电子束曝光机具备在100kV加速电压下加工8英寸样片的能力。其全自动化程度和曝光的高分辨率,保证了在科研和半导体加工领域的领先的加工能力。

了解更多EBPG5200高分辨电子束曝光机
100kV入门技术

EBPG5150可实现100kV电子束曝光,可用于科研和工业领域广泛的直写应用中。凭借其高分辨率、高自动化、高速曝光等优势,可经济实惠地实现6英寸样品的加工。

了解更多EBPG5150电子束直写系统
快速、智能、创新、经济!

凭借其创新的架构、经济实惠的价格、可保证最佳精度快速曝光的性能,VOYAGER电子束光刻机降低了高速专业电子束曝光机的门槛。

了解更多VOYAGER电子束曝光机
满足您的技术需求

RAITH150 Two电子束光刻机可以实现超高分辨电子束曝光功能,并且具有良好的高分辨成像能力。可在毫米级小样品至8英寸硅片样品上,实现小于8nm结构的加工。RAITH150 Two设备配备的热稳定性控制系统可保证在稍差环境也能得到所需曝光结果。

了解更多RAIOTH150 Two电子束光刻机
多功能电子束曝光机
探索电子束曝光技术之外的纳米工程技术

多功能纳米光刻设备,将电子束曝光和开放的平台相结合,可用于多功能纳米加工。eLINE Plus可选择不同的多种功能附件,是目前功能齐全、独特的兼具多功能纳米加工能力的电子束光刻机。

了解更多多功能纳米工程电子束曝光系统 eLINE Plus
电子束曝光和电子束成像的完美结合

EBL-SEM混合设备将先进的纳米加工和SEM成像分析能力结合在一个系统中。PIONEER Two定义了一种全新的独特的经济实惠的电子束光刻机,兼具了纳米加工和SEM成像分析功能。

了解更多PIONEER Two电子束曝光机
聚集离子束光刻系统
Discover FIB-SEM where FIB truly comes first

Choose the VELION for your nanofabrication requirements and benefit from a new FIB-SEM instrument in which FIB is the true priority technique. Supported by a field emission SEM and Raith´s unique Laser Interferometer Stage VELION meets the most demanding requirements both in R&D nano prototyping as well as sample preparation and microscopy.

Find out more about the FIB-SEM system VELION
纳米加工升级附件(图形发生器)
挖掘SEM, FIB-SEM, HIM等系统的纳米加工潜力

ELPHY MultiBeam图形发生器将扩展您现有的SEM, FIB-SEM, HIM的功能,使其具备先进纳米光刻的能力。它包含所有全面多功能纳米图形化功能,并且可实现高分辨的定位精度和分辨率。

了解更多关于如何利用ELPHY MultiBeam改造您的SEM, FIB-SEM, HIM系统
改造提升SEM或FIB-SEM

ELPHY Plus可将您现有的SEM或FIB-SEM系统升级,使其具备电子束光刻的能力。凭借其独立的电子控制单元和Raith无与伦比的操作软件,该图形发生器将是您理想的选择。

了解更多ELPHY Plus
现在开始纳米加工

ELPHY Quantum电子束光刻附件是一款经济实惠的电子束光刻解决方案。所有功能都集成在同一个操作界面,使其成为通用的灵活的电子束光刻升级附件。

了解更多ELPHY Quantum
专业级逆向工程系统
真正实现大面积拼接成像

CHIPSCANNER扫描电子显微镜解决方案可以实现大面积的SEM图像。该设备可用于逆向工程、大脑成像、需要大样品成像(cm²尺度)兼具nm级分辨率成像的任意应用,或者具备高精度多层拼接精度的三维重构应用。

了解更多CHIPSCANNER大面积高分辨率三维SEM系统

多种技术可选,结合优异的技术服务和支持

在您每一个职业生涯中,您都会获得优越的技术和服务,并和Raith公司建立起终身合作伙伴关系。伴随着每一个Raith系统,您都可以获得全球范围内的技术支持和服务,通过Raith热线,您可以获取免费的技术应用支持和软件使用支持。Raith将伴随您发展的每一步,随时为您答疑解惑。设备安装后,Raith也将秉持经济实惠的服务理念,为您提供优质服务。了解更多技术支持和服务理念

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